簡易檢索 / 檢索結果

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    線上光學檢測技術於準分子雷射退火矽膜之再結晶特性研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 陳佳斌 指導教授: 鄭正元
    • 本研究建構一套準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學檢 測系統,可以線上即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性,進而分析相關物理現象並提出矽膜之相變化機制。藉由線上光學檢測系…
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